测量环境中的降尘 任何地方的粗颗粒
wenfeng丨2年前丨行业新闻丨81丨
一般功能和外形规格
型号:CS-RA004
分类:≥30微米、≥50微米、≥100微米、≥150微米、≥200微米
粗粒径分级:≥30μm,≥50μm,≤100μm,
≥150μm和≥200μm
计数采样板表面的灰尘数量(4英寸硅
晶片)并对它们进行分类。
保存图像数据和分类/计数数据(CSV格式)
测量时间:10秒
你可以清理采样板,然后再次使用。
尺寸:490mm x 420mm x 275mm
重量:约21kg
测量环境中的降尘
任何地方的粗颗粒都可以通过放置干净的硅来测量
并使用RACCAR计数晶片上的灰尘。那么,你将能够
估计粗颗粒可能落在工件上的程度
环境。这种方法在硅片所能达到的任何地方都是有效的
即使是在烤箱内部,通常也很难检查。这种
这种方法在半导体行业被称为“粒子测试”。RACCAR启用
在许多应用中进行这样的粒子测试,并帮助您进行调查
以提高产量。
您可以通过触摸采样硅片并通过RACCAR测量来检查洁净室耗材(手套、洁净服)上附着了多少灰尘。洁净室耗材并非总是如您所期望的那样干净。即使你在进入洁净室之前将它们清理干净,你的手在接触产品时可能会沾上灰尘。了解情况是进行有效测量的第一步。
RACCAR和PC
① USB电缆
② LAN电缆
③ 交流电源电缆
④ 阶段
⑤ 软件CD
⑥ USB安全密钥
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发布者:儧罡龒